微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是將微電子技術(shù)與精密機械技術(shù)深度融合的前沿工程技術(shù)。它通過在硅基或其他半導體材料上集成微型傳感器、執(zhí)行器及機械結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了傳統(tǒng)宏觀機械系統(tǒng)難以企及的微型化、智能化和高精度特性。

在自動識別技術(shù)領(lǐng)域，MEMS技術(shù)的應(yīng)用尤為廣泛。例如，MEMS加速度計和陀螺儀已成為智能手機、無人機和自動駕駛系統(tǒng)中姿態(tài)識別與運動追蹤的核心組件。這些微型傳感器能夠?qū)崟r捕捉設(shè)備的加速度和角速度變化，為自動識別系統(tǒng)提供精確的物理運動數(shù)據(jù)。

MEMS麥克風通過其高靈敏度和小型化優(yōu)勢，在語音識別和聲紋識別系統(tǒng)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。在光學識別方面，MEMS微鏡陣列被用于激光雷達（LiDAR）和光譜分析儀，實現(xiàn)對物體形狀、距離和化學成分的非接觸式自動識別。

MEMS技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新正推動自動識別技術(shù)向更高精度、更低功耗和更小體積方向發(fā)展。隨著5G通信、物聯(lián)網(wǎng)和人工智能的普及，MEMS與自動識別技術(shù)的結(jié)合將在智能醫(yī)療、工業(yè)自動化、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域展現(xiàn)出更廣闊的應(yīng)用前景。